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　　壓阻式傳感器仍然是基于半導體材料的壓阻效應，Celtron稱重傳感器在半導體材料(一般為N 型硅單晶)稱重傳感器基片上選擇一定的晶向位置，利用集成電路工藝制成擴散電阻，作為測 量傳感元件，基片直接作為測量敏感元件(甚至有的可包括某些信號調節電路)，亦稱為擴散型壓阻式傳感器或固態壓阻式傳感器。擴散電阻在基片上組成測量電 橋，當基片受應力作用產生變形時，各擴散電阻臂阻值發生變化，電橋產生相應的 不平衡輸出。

　　壓阻式Celtron稱重傳感器主要用于測量壓力和加速度。

　　1、壓阻式壓力傳感器

　　壓阻式壓力傳感器的結構其核心部件是一圓形的N型硅 膜片，Celtron LPS-1kg 單點式稱重傳感器在膜片上擴散四個阻值相等的P型電阻，構成平衡電橋。Celtron稱重傳感器四個電阻的配置 位置按膜片上徑向應力和切向應力的分布情況確定。硅膜片周邊 用硅環固定，其下部是與被測系統相連的高壓腔，上部為低壓腔，通常與大氣相通。在被測壓力P作用下，膜片產生應力和應變，擴散電阻由于壓阻 效應其電阻值發生相對變化。

　　壓阻式壓力傳感器的應變片，其工作溫度可提高至300℃左右，包括壓敏電橋、溫度補償電路、差分放 大及感溫元件在內的集成式壓力傳感器早已問世。石油天然氣開發中的PPS系 列井下電子壓力計，采用硅一藍寶石傳感器，工作溫度可達近200℃，且具有溫度測 量、數據采集和存儲功能的應變片，Celtron MBB-75kg 雙剪切梁式稱重傳感器其工作溫度可提高至300℃左右，包括壓敏電橋、溫度補償電路、差分放 大及感溫元件在內的集成式壓力傳感器早已問世。石油天然氣開發中的PPS系 列井下電子壓力計，采用硅一藍寶石傳感器，工作溫度可達近200℃，且具有溫度測 量、數據采集和存儲功能。

　　2、壓阻式加速度傳感器

　　壓阻式加速度傳感器的結構簡圖，它直接用單晶硅作為懸臂梁3，梁的根部擴散四個電阻1構成測量電橋，自由端裝有慣性質量13，就構成了微小的整體型加速度傳感器。在結構上玻璃一硅片一玻璃三層結構。中間一層是該傳感器的核心部件，它是一片很薄的硅片懸臂梁，Celtron LOC-250kg 單點式稱重傳感器四周由厚的(約200腳)凸緣邊框圍繞著，邊框剛性地支承著懸臂。上、下兩片玻璃的安裝面平行于梁表面，每片上都蝕刻出凹坑，以構成梁和慣性質量運動所需的空間。慣性質量可以是高密度的物質如金等，也可以是硅梁本身。

　　當Celtron稱重傳感器受到圖示方向加速度a時，質量塊m的慣性力作用在梁上，產生彎 矩和應力，四個擴散電阻的阻值發生變化。應力與加速度成正比，所以電阻相對變化與加速度成正比。將這四只電阻接成差動電橋，即可測出加速度a。為保證輸出線性度，懸臂梁根部的應變不要超過400一500陣。